近3月份额增加11.1

　　中微公司推出新一代ICP 等离子体刻蚀设备 Primo Angnova、高选择性刻蚀机 Primo Domingo、Smart RF Match 智能射频婚配器、蓝绿光 Micro LED 量产MOCVD 设备 Preciomo Udx 四款新品，正在SEMICON CHINA 2026 上，截至4月13日，半导体设备ETF易方达(159558)上涨2.73%。关心国内半导体设备及零部件厂商投资机遇。国内半导体设备厂商稠密发布新产物，北方华创发布新一代 12 英寸 NMC612H ICP刻蚀设备、12 英寸 Qomola HPD30 夹杂键合设备、高深宽比TSV 电镀设备 Ausip T830 等，近3月份额增加11.12亿份。国内半导体设备厂商不竭提拔工艺笼盖度及冲破先辈制程，拓荆科技推出专为处理键合界面浮泛问题而设想的精准修复设备Volans 300 3D IC、低介电薄膜设备PF-300L Plus nX PECVD、PEALD 原子层堆积设备VS 300 Astra-s SiN、跟着国内次要晶圆厂加快扩产，国内半导体设备厂商国产替代无望持续加快推进，截至2026年4月14日 09:55，实现显著增加。半导体设备ETF易方达(159558)近1周规模增加3.66亿元，